View of АНАЛИЗ СОСТОЯНИЯ ЛАТЕНТНЫХ НАНОКРИСТАЛЛОВ NISI2, СОЗДАННЫХ МЕТОДОМ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ В ОБЛАСТИ КРЕМНИЯ
Return to Article Details АНАЛИЗ СОСТОЯНИЯ ЛАТЕНТНЫХ НАНОКРИСТАЛЛОВ NISI2, СОЗДАННЫХ МЕТОДОМ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ В ОБЛАСТИ КРЕМНИЯ Download Download PDF